技术参数：
1.灯管功率：300W
2.灯管寿命：≥8000h
3.灯管光谱：185nm+254nm
4.清洗工作面积：≤8寸
5.持续清洗时间：99.99h
6.照射高度：31~44mm(通过顶针改变高度，未包含基片本体厚度)
7.风扇调速：5级调速
8.电源输入：200-230V,单相，800W(220V型)
9.保险丝:5A,2A(已安装)
10.加热功率：500W
11.温度范围：室温~200℃
12.200℃加热时间：30-35min
13.顶升高度范围：0-13mm
14.顶升最小基片尺寸：方片50*50mm,圆片50mm
15.ZD基片厚度：10mm(可定制)
16.重量：25kg
17.外型尺寸：490mm(W)*370mm(D)*310mm(H)
